采用垂直涂覆工艺,专为平面基材的湿法薄膜制备而优化。其设计紧凑轻量,在确保高标准涂覆效果的同时,集成完善回风系统,为操作人员提供健康防护。
涂覆基材覆盖范围:200×200mm~400×400mm
涂覆湿厚:≥3um 成膜干厚:优于3%(@500nm)
最大涂覆速度:100mm/s